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                晶圆切割膜为什么要铁圈来支撑?

                文章出处:责任编辑:人气:-发表时间:2018-07-31 11:46【

                晶圆厂出来的wafer需要对其进行背面研磨,来减薄晶圆达到封装所需的厚度,通过磨片后将整洁干净的晶圆粘贴在晶圆切割膜上。只是晶圆把晶圆放到膜上固定还是不够的,这样会导致产品不能装入提篮中,这个时候就需要用到晶圆铁圈来支撑蓝膜把晶圆固定住,让晶圆不被外界撞击到,周转存储晶圆的时候更加方便被切割开后的晶圆粒不会散落下来。

                怎样使用蓝膜来支撑晶圆呢?首先要贴膜机打开,把铁圈放入贴膜机固定位置中,然后把清洗好的wafer通过机器搬运到已经铺好蓝膜的铁圈进行固定,最后把固定好的wafer放入晶圆提篮中为下道工序做准备。